1、滚刀滚削加工 
通常采用滚刀在滚齿机上切制齿轮。微型齿轮(m0.1以下)滚齿加工时，滚刀的齿形必须进行微加工。因为齿形微小，除滚刀齿形误差外，滚刀的孔径跳动、端面跳动、周节等误差都将对微型齿轮的精度有很大的影响。而加工用的滚齿机、工件主轴、刀具主轴、工件分度机构及工件夹具等诸多方面的精度、刚度以及滚刀和工件的安装精度等等，都会影响微型齿轮的制造精度，因此，有必要提高制造系统总的综合精度。在此基础上，再选择易切削的材料，就可较容易地实现批量生产模数相同、品种不同的微型齿轮。 


2、注射成型塑料齿轮 
利用注射成型法加工的塑料齿轮，由于能在短时间内实现大批量生产，因此多用于办公室机器、家用电器等较轻载荷下使用的齿轮。近年来，在注射成型技术不断提高、注塑材料性能不断改进的同时，注塑成型齿轮的精度也大幅提高，注塑齿轮用模具的精度和注射成型技术均为影响注射成型法的重要因素。在制作模具时，主要采用线切割和电火花加工。但由于所使用的线径、成型电极的放电间隙等因素的影响，限制了微型齿轮模具精度的提高。模具也可采用电铸方法制造。电铸所用的基准齿轮，采用切削或磨削加工可提高其精度。基准件齿轮可电镀加厚。通过化学溶解，由阳(凸)的基准件得到阴(凹)的模具。因基准件齿轮的精度高、电镀处理不会产生变形等原因，因此有可能制作出精度较高的微型齿轮模具。由于采用基准件，借助化学溶解法，可以加工出形状复杂的模具来，除直齿轮、斜齿轮外，锥齿轮、端面齿轮、蜗杆、蜗轮等各种不同类型的模具都能制造。使用高精度模具，使塑料微型齿轮的大规模生产成为可能。但由于其齿形小、受力容易变形等原因，在大载荷传动且传动精度要求高的场合，采用强度大的金属齿轮更为有利。 
 

3、金属烧结制作法 
金属粉末在模具中高压成型后，进行高温烧结固化而成的烧结金属齿轮(粉末冶金齿轮)，其机械强度比塑料齿轮高，在中等载荷条件下使用。模具成型法适于大批量生产。但模具成形后，经过高温烧结，变形很大，因此要达到必要的精度，在烧结后齿轮还要进行精加工。由于齿形微小，微型齿轮的精加工比较困难，加之金属粉末的金属颗粒较大，从而限制了其形状精度和表面光洁度的提高。成型模具若采用上文注射成型塑料齿轮中所提到的基准齿轮电极电解加工方法，其加工出的齿轮精度就有可能提高。 
 

4、其它制造方法 
采用半导体制造法、光蚀法或激光加工法均可制造微型齿轮。光蚀法可以试制出几十微米大小的微型齿轮，拉刀可以拉制内齿轮等。今后微型齿轮的需求越来越多，新的制造方法和批量生产技术也将不断出现。